Reaktivním magnetronovým naprašováním?

2024 Autor: Fiona Howard | [email protected]. Naposledy změněno: 2024-01-10 06:35

Reaktivní magnetronové naprašování je vyzrálá technika nanášení tenké složené vrstvy na širokou škálu substrátů jako vrchní vrstva nebo jako mezivrstva ve vícevrstvém povlaku. Rozsah „tenkého“se pohybuje od několika nanometrů až po několik mikrometrů.

Proč magnetron prská?

Magnetronové naprašování je proces kolize mezi dopadajícími částicemi a cíli … Magnetronové naprašování zvyšuje hustotu plazmatu zavedením magnetického pole na povrch katody cíle a využitím omezení magnetické pole na nabité částice ke zvýšení rychlosti rozprašování.

Co znamená reaktivní naprašování?

Reaktivní naprašování je proces, který umožňuje nanášení sloučenin zavedením reaktivního plynu (typicky kyslíku nebo dusíku) do plazmy, které je typicky tvořeno inertním plynem, jako je např. argon (nejběžnější), xenon nebo krypton.

Jak funguje magnetronové rozprašování?

Magnetronové naprašování je depoziční technologie zahrnující plynné plazma, které se generuje a je omezeno na prostor obsahující materiál, který má být deponován – „cíl“. … Tyto srážky způsobují elektrostatické odpuzování, které „vyráží“elektrony z rozprašovaných atomů plynu, což způsobuje ionizaci.

Proč RF prská?

RF neboli radiofrekvenční naprašování je technika, která se používá při střídání elektrického potenciálu proudu ve vakuovém prostředí na rádiových frekvencích, aby se zabránilo hromadění náboje na určitých typech materiálů rozprašovacích terčů, což může časem vést k oblouku do plazmy, která chrlí kapičky …